1、简介

靶材是溅射镀膜领域内应用量最大的镀膜材料，其性能影响下游客户的镀膜质量。靶材由“靶坯”和“背板”绑定而成。在溅射镀膜过程中，靶坯被离子撞击后，其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜。

靶材的种类较多，即使相同材质的靶材也有不同的规格。按照不同的分类方法，可将靶材分为不同的类别。按材质分可以分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材等；按照形状可分为方靶、圆靶、异形靶等；按照应用领域可以分为半导体靶材、平板显示靶材、太阳能靶材等等。

2、产业链

我国靶材产业链涉及金属提纯、靶材制造、溅射镀膜等环节，参与主体主要为传统靶材制造厂商以及高纯金属靶材基材生产商。近年来，产业链呈现横向拓展特征，中游靶材制造企业纷纷布局产业链上游金属提纯领域，以起到靶材原材料自给、降低生产成本的效果。以江丰电子为例，公司“年产300吨电子级超高纯铝生产项目”进展顺利，已实现收益。

图表 1 中国靶材产业链全景

3、行业现状

靶材主要应用于半导体芯片、平面显示、太阳能电池等领域。2017-2020年，在下游需求的带动下，中国靶材行业市场规模逐年提高，近五年年均复合增长率为12%。据研精毕智分析师预测，2023年我国靶材市场规模将达到476亿元。然而，中国大部分靶材行业企业主要生产的是低附加值的中低档产品，产品呈现多品种、小批量、生产周期长的特点。

图表 2 2018-2024年中国靶材市场规模预测趋势图

靶材行业的国产化进程也在逐步加速，国内靶材厂商进入下游知名制造厂商的供应体系提供了良好的发展机遇。根据中国靶材市场的主要应用领域，平面显示领域市场规模最大，占比最高，而半导体集成电路和太阳能电池用溅射靶材市场也将保持高速增长态势。

目前，中国在溅射靶材业务上的主要客户为半导体芯片制造商与面板制造厂商。此外，中国靶材企业的研发投入也在不断增加，以提高靶材技术和性能，满足下游应用领域的不断升级的要求。例如，阿石创在靶材业务上的毛利率较高，同时在研发投入上也具有一定的优势。

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