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概述

调研大纲

1、行业定义

真空设备是在真空环境下进行产生、改善和维持的装置，本次调查主要是针对分子束外延系统，磁控溅射、电子束蒸发镀膜系统，等离子体刻蚀系统，快速热退火、快速热处理系统和等离子体增强化学气相沉积系统。

2、研究结论

调研报告显示，近年来，真空设备在电子行业、光学行业及玻璃行业、光伏行业等广泛应用。在这样一个大的趋势下，真空设备行业行业的前景是光明的。随着需求的不断增长，仍然有一些企业进入真空设备行业行业。

全球消费量市场主要集中在亚太。中国占消费量市场的20.14%，台湾则占有18.44%。日本占有17.12%，韩国占有15.57%，北美销量市场相对较小，占全球销量的12.65%。

3、全球真空设备市场主要企业名单及介绍

图：2016全球主要厂商分子束外延系统行业产值市场份额

2016全球主要厂商分子束外延系统行业产值市场份额

3.1 Veeco

Veeco 成熟的 MOCVD、光刻、激光退火、离子束和单晶片蚀刻与清洁技术在制造固态照明和显示器 LED 以及先进的半导体器件中起着不可或缺的作用，凭借旨在最大限度地提高性能、产量和拥有成本的设备，Veeco 在所有这些服务的市场中拥有技术领先地位。Veeco 在 10 个国家/地区开展运营，在全球各地拥有约 1,050 名员工。2016年Veeco市场收入为0.25亿美元。

3.2 Riber

Riber是全球领先的分子束外延（MBE）设备供应商，是设计和制造最新的半导体结构并制造许多这些器件的最通用和精确的工具，用于将精确量的材料沉积到衬底上。这些可用于制造价格便宜的薄膜太阳能电池，创造未来有机LED电视的显示器，并帮助生产超小型硅晶体管，从而实现更快，更强大的数据处理。2016年Riber市场收入为0.07亿美元。

3.3 Omicron

Scienta Omicron由两家表面科学领域最着名的公司合并组成：VG Scienta和Omicron NanoTechnology。该公司通过其在电子光谱，扫描探针显微镜和薄膜沉积方面的技术领先地位为研究界提供了最高的能力。根据市场调研数据，2016年Omicron市场收入为0.07亿美元。

3.4 DCA

芬兰DCA Instruments 成立于公司成立于1989年,是一家专业从事分子束外延（MBE）和超高真空薄膜沉积系统及组件的设计和制造的公司，提供超高真空薄膜沉积系统，应用于分子束外延、UHV溅射和脉冲激光沉积。DCA Instruments的产品范围包括从小型研究开发系统到300毫米的生产系统。2016年DCA市场收入为0.05亿美元。

3.5 SVT

美国SVT公司是世界顶级的MBE供应商，具有20年的MBE设备制造经验，数位核心工程师拥有25年以上的MBE经验。2016年SVT市场收入为0.04亿美元。

3.6 Dr. Eberl

Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH是德国一家专业的分子束外延设备制造厂商，创立于1989年。2016年Dr. Eberl市场收入为0.04亿美元。

4、真空设备产品分类及市场分析

分子束外延系统：2016年市场份额为0.6%

磁控溅射及电子束蒸发镀膜系统：2016年市场份额为5.67%

等离子体刻蚀系统：2016年市场份额为33.36%

快速热退火及快速热处理系统：2016年市场份额为23.22%

等离子体增强化学气相沉积系统：2016年市场份额为37.15%

图：2016年全球不同类型真空设备行业产量市场份额

2016年全球不同类型真空设备行业产量市场份额